[미디어펜=백지현 기자] SK주식회사가 지난 해 인수한 반도체 소재 기업 SK머티리얼즈가 일본 쇼와덴코와의 합작법인(을 통해 식각(蝕刻)가스 분야로 사업확장에 나선다.
SK머티리얼즈와 쇼와덴코는 1년 여간의 합작사업 검토를 거쳐 18일 생산·판매를 위한 합작법인 설립 계약을 체결했다. 합작법인 사명은 SK쇼와덴코로 지분율은 SK머티리얼즈가51%, 일본 쇼와덴코가 49%이다.
초기 투자금액은 210억원 규모이며 양사는 식각가스 수요 증가에 맞춰 지속적인 증설 투자를 실행할 계획이다.
식각가스란 실리콘 웨이퍼 상의 필요 부분만 남겨두고 나머지 물질을 제거하는 반도체 공정인 식각 과정에 사용되는 특수 가스다. 향후 반도체 미세화 공정 및 3D낸드 확산에 따라 식각가스 수요가 급증할 전망이다.
종합 소재기업인 쇼와덴코는 CF계 식각가스 글로벌 1위 기업으로 시총은 2.5조원에 달한다. 불소계 특수가스 전 제품 라인업과 원천 기술을 보유하고 있으며 북미·유럽·중국 등에 판매망을 보유하고 있다.
합작법인은 경북 영주의 SK머티리얼즈 공장 내에 CH3F(플루오르메탄) 1차 생산설비 20톤을 내년 8월까지 건설 완료하고, C4F6(육불화부타디엔) 등 고부가 CF계 가스 사업도 순차적으로 추진한다.
SK머티리얼즈와 쇼와덴코는 향후 3D 낸드 확산에 발맞춰 생산 설비 증설에 나서는 한편 다양한 반도체·디스플레이 소재 사업 추진에도 적극 협력할 계획이다.