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정부, 2030년까지 반도체 생명수 '초순수' 연구시설 조성한다

2024-06-23 12:00 | 유태경 기자 | jadeu0818@naver.com
[미디어펜=유태경 기자] 정부가 오는 2030년까지 반도체 산업 생명수로 불리는 '초순수'의 연구개발(R&D)·실증·성능검증 등을 수행하는 연구시설을 조성한다.

초순수 플랫폼센터 시설 계획./사진=환경부



환경부는 '국가 초순수 플랫폼센터' 입지를 선정하기 위해 관련 기준에 적합한 부지를 보유한 전국 지자체를 대상으로 오는 24일부터 15일간 공모한다고 23일 밝혔다. 

초순수는 반도체 제조에 있어서 웨이퍼 제조, 포토, 식각 등 각 공정 과정 세정에 사용된다. 반도체 품질과 수율(양품 비율)을 좌우하는 핵심 요소 중 하나인 초순수 생산을 위해서는 물 속에 포함된 이온이나 유기물, 미생물 등 불순물 농도를 극히 낮은 값으로 억제하는 최고 난도의 수처리 기술이 필요하다. 현재 일부 선진국만이 이 기술을 보유하고 있다. 

우리나라는 해외기업에 초순수 생산 기술을 의존하는 상황으로, 주력 산업인 반도체 분야에서 초격차를 확보하기 위해서는 초순수 생산 기술의 국산화를 통해 국내외 환경에 구애받지 않고 초순수를 안정적으로 공급할 수 있는 능력을 확보해야 한다는 필요성이 제기되곤 했다.

이에 환경부는 지난 2021년부터 초순수 생산기술 국산화를 위한 R&D를 추진해 왔으며, 반도체 산업 성장으로 수요 증가가 예상되는 초순수 생산 기술 개발과 관련 산업의 육성을 위해 ▲초순수 기술개발 ▲수질분석 ▲실증·검증 및 교육시설 등이 집적된 국가 초순수 플랫폼센터를 2030년까지 조성한다는 계획이다. 

국가 초순수 플랫폼센터는 소재·부품·장비 시험센터와 초순수 실증설비(플랜트), 분석센터, 폐수재이용 기술센터, 연구개발·기업지원·인재양성센터 등을 포함하는 5개 시설로 구성된다. 

환경부는 이번 공모를 통해 지자체로부터 초순수 플랫폼센터 유치의향서 접수 후 신청 요건 적합 유무와 평가 기준에 따라 최적의 입지 1곳을 선정해 고시할 예정이다.
 
입지 조건 부지는 '물관리기술 발전 및 물산업 진흥에 관한 법률 시행령' 제19조제1항 각 호에 해당하는 지역 중 ▲건물 바닥면적 1만7664㎡ 확보 가능 ▲공업용수 1일 3120㎥ 확보 가능 ▲전기용량 1만300㎾ 및 월 전력량 492만4155㎾h 사용 가능 ▲폐수배출시설 1종 시설 설치 가능 ▲2027년 이전 착공 가능 ▲첨단 및 소재·부품·장비 특화단지 내 또는 반도체 제조 사업장과 30㎞ 이내 지역 등 6가지 조건을 충족해야 한다. 

환경부는 초순수 플랫폼센터 후보지 공모 이후 관련 분야 전문가 등을 중심으로 입지선정 평가위원회를 구성해 후보지 평가를 진행하고, 최적 후보지가 선정되면 주민 및 관계 행정기관 의견 수렴을 거쳐 국가 초순수 플랫폼센터 최종 입지를 결정한다. 

이승환 물이용정책관은 "초순수 플랫폼센터는 국내 기업들이 초순수 관련 신기술을 직접 개발하고 국내 시장에서 실적을 확보함과 동시에 해외 진출까지 도모할 수 있는 토대가 되고, 초순수 플랫폼센터를 유치한 지자체의 경제 활성화 효과도 기대할 수 있을 것"이라며 "환경부는 국가 초순수 경쟁력 강화와 관련 산업 진흥을 위한 지원을 지속할 계획"이라고 말했다.


[미디어펜=유태경 기자]
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